მიკრო და ნანოსისტემებისთვის დაბალტემპერატურული პროცესების დამუშავება

ავტორი: ამირან ბიბილაშვილი
საკვანძო სიტყვები: პლაზმა, ოქსიდი, ანოდირება, ტრანზისტორი, მემრისტორი
ანოტაცია:

განხილულია სტიმულირებული პროცესებით - ნახევარგამტართა და მეტალთა ოქსიდების მიღება კატალიზური პლაზმური ანოდირებით და ფოტონური დამუშავებით და მათი გამოყენება ორჩამკეტიანი ველის ტრანზისტორში და მემრისტორში